三氧化二铝薄膜机械牢固性强,化学性能稳定,折射率范围宽,所以是一类其重要的薄膜材料。它们的折射率和短波吸收限多数界于氟化物与硫化物之间。
三氧化二铝膜料普遍用于中间材料,有很好的堆积密度,提高基板温度可提高其折射率,在镀膜程式不可以更改的情况下,以调整蒸发速率和真空度来提高其折射率.通过调节蒸发和真空度可提高三氧化二铝的折射率,*大可接近1.62。
三氧化二铝熔点高,所以不易用电阻加热蒸发,而需用电子束加热蒸发,采用电子枪镀膜,薄膜性能稳定。常与氟化镁及二氧化锆搭配镀制可见光区的增透膜,由于其折射率不到1.7,因此镀出来的增透膜呈明显的绿色。
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